Đột phá công nghệ bán dẫn: Huiran Microelectronics ra mắt thiết bị đo CD-SEM 14/22nm đầu tiên tại Trung Quốc

Theo tin từ IT ngày 2 tháng 9, dẫn báo cáo của Jiwei ngày 31 tháng 8, thiết bị đo lường bán dẫn được ví như "đôi mắt" trong quy trình sản xuất chip, xuyên suốt tất cả các công đoạn cốt lõi như quang khắc, khắc khô và lắng đọng, quyết định trực tiếp đến tỷ lệ năng suất wafer và tốc độ lặp lại quy trình. Thiết bị đo kích thước tới hạn bằng chùm tia điện tử (CD-SEM) là một trong những thiết bị cốt lõi để kiểm soát năng suất wafer ở các quy trình tiên tiến, đồng thời cũng là chủng loại thiết bị bán dẫn có tỷ lệ nội địa hóa thấp thứ hai, chỉ sau máy quang khắc. Trong ngành, thiết bị này được mệnh danh là "máy quang khắc thu nhỏ" và là mắt xích yếu quan trọng cần sớm đột phá trong tiến trình tự chủ của chuỗi cung ứng bán dẫn Trung Quốc.

Huiran Microelectronics Technology Co., Ltd. là doanh nghiệp đổi mới sáng tạo trong nước tập trung vào lĩnh vực thiết bị đo lường và kiểm tra bán dẫn. Tại Triển lãm Thiết bị, Vật liệu và Linh kiện Cốt lõi Bán dẫn lần thứ 14 (CSEAC 2026) diễn ra từ ngày 31 tháng 8 đến ngày 2 tháng 9, công ty đã ra mắt nhiều sản phẩm mới quan trọng, bao gồm thiết bị CD-SEM cho wafer 12 inch cấp nghiên cứu 14nm và cấp sản xuất hàng loạt 22nm mang tên eMILO-FW300, thiết bị đo kích thước tới hạn mặt nạ quang học Mask CD-SEM eMILO-FR7, cùng nền tảng công nghệ đo lường bằng chùm tia điện tử AI - RMS.

Báo cáo cho biết, các sản phẩm này đều đã đạt trình độ dẫn đầu trong nước, có thể đối chuẩn với các sản phẩm tương đương trên thị trường quốc tế, thậm chí một số sản phẩm là sáng chế đầu tiên tại Trung Quốc. Trong bước tiếp theo, Huiran Microelectronics sẽ nỗ lực hiện thực hóa việc thương mại hóa thiết bị đo kích thước tới hạn mặt nạ quang học đầu tiên tại thị trường nội địa.

Thiết bị đo kích thước tới hạn 14/22nm CD-SEM có khả năng tương thích ngược với sản xuất hàng loạt quy mô lớn 22nm và hỗ trợ nghiên cứu phát triển quy trình tiên tiến 14nm, là thiết bị đo CD cao cấp đầu tiên tại Trung Quốc kết hợp được cả hai kịch bản "nghiên cứu phát triển + sản xuất hàng loạt".

Thiết bị đo mặt nạ Mask CD-SEM đáp ứng nhu cầu đo lường kích thước tới hạn cho mặt nạ quang học ở nút 22nm trở lên, lấp đầy khoảng trống về thiết bị đo lường mặt nạ cao cấp do trong nước sản xuất.

Nền tảng công nghệ đo lường bằng chùm tia điện tử AI - RMS, với tư cách là giải pháp toàn diện cho dây chuyền sản xuất thông minh CD-SEM, đã bù đắp những thiếu hụt của thiết bị nội địa về mặt thuật toán và xử lý dữ liệu, hiện thực hóa khả năng tự chủ từ phần cứng đến phần mềm.

Theo thông tin từ IT, dựa trên giới thiệu của Tập đoàn Công nghiệp Tân Hồ (Binhu) thành phố Vô Tích, tỉnh Giang Tô, Huiran Microelectronics là doanh nghiệp duy nhất tại Trung Quốc tự chủ nghiên cứu phát triển CD-SEM và thực hiện xuất hàng. Sau khi đặt trụ sở tại Binhu vào tháng 6 năm 2024, doanh thu của công ty đã tăng gấp 6 lần. Các thiết bị CD-SEM, Mask CD-SEM và EBI được trưng bày lần này là những thiết bị then chốt để kiểm soát chất lượng và đảm bảo năng suất sản xuất wafer, cung cấp dữ liệu vi mô quan trọng cho quá trình sản xuất mạch tích hợp phức tạp và đa tầng.

Chiều ngày 1 tháng 9, hội nghị kết nối ngành công nghiệp mạch tích hợp quận Binhu với chủ đề "Liên kết chuỗi chip, cùng tạo tương lai" đã diễn ra. Huiran Microelectronics đã ký thỏa thuận khung hợp tác chiến lược với doanh nghiệp IDM bán dẫn hàng đầu trong nước là China Resources Microelectronics (CR Micro). Hai bên sẽ xoay quanh việc nội địa hóa thiết bị bán dẫn, cùng thúc đẩy nghiên cứu phát triển độc lập và ứng dụng công nghiệp hóa các thiết bị đo lường kiểm tra, đồng thời thiết lập cơ chế trao đổi kỹ thuật và đào tạo nhân tài, phối hợp sâu rộng để tích hợp nguồn lực thượng nguồn và hạ nguồn của chuỗi cung ứng, cùng thúc đẩy tiến trình tự chủ của các thiết bị bán dẫn then chốt.